第02回英文輪読
'酢谷'訳
'伊藤（雅）'訳
'伊藤（孝）'訳
表面を横切る単なる線でなく、表面の領域からデータを取得ふるデータセットを記録する個々のプロファイルは、一連の平行線に沿って簡単に記録できる。AFMは柔軟なカンチレバーに非常に細かいスタイラスを使用する。表面とスタイラスの先端自体の間で一定の力を維持するために、一般的に使用されているピエゾアクチュエーターを使用する。非接触モードでは引力が維持され、接触モードでは反発力が維持される。AFMを使用すると、表面座標をはるかち高い精度で測定できる。ただしラインプロファイルまたは表面形状の測定の原理は、スタイラスプロフィロメトリーの場合と同じである。
'犬飼'訳
触針式粗さ計で方位分解能は典型的な200ナノメートルの解像度で先端形状によって制御される。垂直分解能は役10ナノメートルである。原子間力顕微鏡の垂直分解能は0.1ナノメートルまで測定することが出来る。しかし方位分可能は通常たったの10ナノメートルである。触針によってとても変形しやすくまた繊細な表面の検査に一つ問題がある。なぜなら針からの負荷は小さいがそれでも表面を傷つけたり、ひずませたたりする十分な局所的な圧力になる原因になるかもしれない。非接触の表面計測の光学的方法はそのような適用性が魅力である。
'今井'訳
他の主要な類の方法、表面座標を測定するためのは、光学測定に基づいており、2つの主要な手法がある、干渉法または光学焦点のいずれかを使用して表面位置を定義する。 これらの手法はどちらも顕微鏡ベースであり、情報を使用して、視野全体からの、表面の高さを決定する、ピクセルごとに。 どちらもコンピューターベースの画像処理アルゴリズムを使用して、表面位置を決定する、各ピクセルの。（使用する、最大フリンジコントラスト、干渉法のと最大画像シャープネス、フォーカス技術の）
'工藤'訳
多くのシステムでは、別々の測定領域のデータをつなぎ合わせることで、広い領域を高解像度で分析することができます。 をつなぎ合わせて、高解像度で解析することができます。注意しなければならないのは 透明または半透明の表面には注意が必要で、完全に反射するように金属をスパッタリングコーティングする必要がある場合があります。(スパッタリングによる薄膜（通常2〜20nmの厚さ）は、実際には表面プロファイル測定にほとんど影響を与えません。 表面形状測定に与える影響はごくわずかです。また、一般的に、表面の位置はすべてのピクセルについて解決することができないため、このような画素の表面位置は、周囲の画素の測定値に基づいて推定されるのが一般的です。 この方法で高さが推定されたピクセルの割合は許容範囲内であることを保証する必要があり、結果を報告する際にこのことを認識する必要があります。
'小林'訳
一旦形状のデータが収集され終わると、それはしばしば、グラフを使うかあるいはセクション2.3のような一つ又はそれ以上の定量的な尺度の形かのどちらかの一方で表される。単線の断面は補完手順によってエリアベース断面形状測定から導くことが出来る。表面形状のグラフィック描写は実際の表面断面と様々な理由から形が異なる。主な違いは水平及び垂直方向のデータセットを表すのに用いられる倍率が異なることが原因である。垂直範囲の表面形状は、おおよそいつも、水平尺度におけるそれらよりもはるかに少ない。これは結果として、表面に水平な方向よりも大きい、表面に垂直な方向の倍率を使用した表面形状のグラフ記録を圧縮するのに便利だ。
'志藤'訳
拡大率は表面の粗さに依存するでしょうが、典型的なものを言えば10から5000の間です。 図２.２で、拡大の影響は説明されています、同じ表面を違う50:1,5:1,1:1という倍率で記録した表面粗さ測定器を通して 斜面傾斜はそれゆえに典型的な表面粗さ測定器の上では実際より急に見えるし、水平方向の歪んだ影響、ほぼ全ての表面粗さ測定器の計測した形状に存在する、これは解釈のなかで認識されるに違いない。 このように表面粗さ測定器の痕跡が非常に急な斜面に見えるとしても実際は10度よりも急になることは非常に稀であり対面する表面の特徴、互いに噛み合うほどに十分鋭利になるような、これはほとんどない
'庄田'訳
'関野'訳
いろいろな方法によって、表面形状はいろいろな対象の測定値で分析される、つまり粗さ（短波長の不規則性）は、形状誤差の波形である。フィルタリング方法は利用される、例えば、もし表面粗さで長波長の不規則性（粗さまたは形状）が別離する必要があれば基準長さは（図２．３に示す）、基準長さ以内に含むデータの参照のみで関連する測定値は定義されている。これらの測定値は、基準長さ（評価長さの取りまとめー図2.3参照）を超えて作られており、そして基準長さそれぞれの値は代表値を生じ結合される。
'中濱'訳
領域の表面座標を表すデータセットには、表面の地形を説明するために必要とするすべての情報が含まれている。これらのデータセットは、多くは、図2.4に示されているように、３D表現で図式化されて示されている。このような表現では、表面の高さの空間分布を見ることでき、傷などの特徴や研削条痕などの方向の特徴を視覚化することができる。単線に沿って測定されたデータセットは基本的にはその表面を通る断面であり、図2.4(a)のように表面に方向性がない場合は、輪郭線で適切に表現することができ、図2.4(b)のように表面に方向性が支配的な場合は、代表として輪郭線を見せるときに注意する必要がある。
'堀内'訳
'松井'訳
公式として、平均粗さRaは定義される。以下によって。 z は表?上の?さで、平均の線(原点からの距離x)を指し、L は表面形状の長さを指していると考えられ る。(試料の長さは図2.5で?される) 通常は、別々の点が等しい間隔で外形に沿って記録され(反対の連続関数として)、導かれる平均粗さの解 像度がZiはith pointの高さを示し、Nは試料の長さに沿った点の数を指す。 平均線からの表面形状の平均偏差の平方根により。もしくは別々の点により。 多くの表面において、RaとRqの値は同じようになっている。表面高さのガウス分布のように、