第03回英文輪読04月20日

'飯詰'訳

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'伊藤'訳

 針の形状から形状測定結果の方法を限定することは避けられない。強さのために、使われているダイヤモンドの針の形状はピラミッド型か円錐型である。それは最小の刃先角で約60°と刃先半径が1〜2.5μmである。(図2.3)有限な刃先半径と刃先角の組み合わせは針が表面の深く狭い特徴に完全に入り込むのを防ぐ。いくつかのアプリケーションで、これは重要なエラーに導く。特別な針0.1μm程の最小先端半径とたがねの刃のとても鈍い従来の針は非常に優れた表面の詳細を調査するのに使うことができる。しかしすべての針方法は針先端の有限寸法のため、外形にいくつかの「スムージング」を必要とする。

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'佐藤'訳

さらなる故障が触診方式によって引き起こされる、とても準拠し精密な研究中の表面において、針の道によって小さいけれども、それにもかかわらず表面にひずみや破損をおこす。 非接触の、光学表面測定はこのような応用をひきつける、そして、最近のコンピュータの能力の進歩が可能にした、光学干渉計に歪みや損害を与えることなしに表面の外形の記録をとれるように設計することを。 図2.4はひとつの例の原理を説明している。 ふたつの光線の間の干渉は、研究している表面から反射され、完全に水平面な基準面から、フリンジをつくる、フリンジはマイクロプロセッサーと関連している整列したフォトダイオードによってデジタル的に記録される。 小さい、実際には基準表面の置換で知られる、マイクロプロセッサーに制御されている、アフリンジの型の変化の原因、試料をの表面上の高さの表面形状分布からくる、は計算できる。 器具は直線的な並びのフォトダイオードとともに使われる、研究されている表面の表面形状を線にそって形成するために、触診式粗面計のように。 代わりに、四角形の並びのフォトダイオードは表面上の領域のさまざまな高さの記録をとることに使われる。 垂直分析は最小で0.1nmまで分析できる、しかし、測定できる最大高さは制限される、器具の焦点の深さによって数マイクロメーターまで。 とても目の細かい表面特徴での試験では、特にコンプライアント面(たとえばポリマー)上では、光学干渉法ははっきりとした利点をもっている、触診式を超える、しかし、下等な面においては後者の技法のほうが使われる。 多くの応用で、この2つの技法は競いあうよりむしろ補い合っている。

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'竹島'訳

表面の小さな尺度での凸凹を意味している「粗さ」と、意図された理想的な形状からはずれた表面形状の尺度である「形状誤差」を区別することは都合がよい。(例えば、平面、円柱、球体) 明らかに、粗さと形状誤差の区別には不規則な横向きの尺度を含んでいるけれども、その区別は恣意的である。 写真では、粗さと形状誤差の中間の尺度における周期的な表面のうねりである起伏の存在によって、より一層複雑になっているかもしれない。

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'津守'訳

 様々な方法で、粗さ計によって記録された表面断面図のグラフを粗さまたは短い波長の乱れだけを描くために、形状誤差とうねりをその断面図から引かれているかもしれない。単純な機構の方法(しばしば触針式粗さ計に使用されるようなもの)はちょうど針の前または後ろの表面に乗った小さなスキットに支えられている計測器の測定ヘッドに配置されているものである。その粗さ計はそれでそのスキットに相関のある針の変位を記録している。このように表面の平均局所粗さはデータとして使用される。そしてスキットよりもかなり大きいサイズの表面の波長を乱すものは記録されない。長い波長の表面乱れ(形状誤差やうねりなど)に一致する要素を除去するための代わりの方法は記録中または記録後に変位信号にフィルターをかけることです。電子フィルターの方法は粗さの信号を除去され、ただ形状誤差やうねりだけを検出しているかもしれない。もしフィルターを使われた場合、粗さと形状誤差との間の特性はその波長のカットオフフィルターを引用することによって定量化されるかもしれない。

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'平久江'訳

 針式あるいは光学式表面粗さ測定器によってうみだされた表面外形のグラフは一つの方向に沿った表面の凹凸を描写するのに必要とされる大抵の情報を含む。 外形のグラフそれ自体はしかしながら、表面粗さの描写を解決する方法を十分に単純で容易に供給できず、外形から引き出されたいくつかの量(は)、それはしばしば自動的に表面粗さ測定器によって計算され、この目的で使用される。 たいていの一般的に引用された表面粗さの測定は平均粗さである(記号Ra、中心線平均にちなんだc.l.a.や算術平均にちなんだAA)。 Raは外形を通した平均線からの表面高さの算術平均偏差として定義される。 平均線はそこより上と下にある外形の等しい領域として定義される(図2.5)。 形式的に平均粗さRaは(2.1)によって定義される。 そこでのyは原点からの距離xにおける平均線の上の表面の高さであり、そしてLは試験下での外形の全長である(図2.5)。 r.m.s粗さ(記号Rq)は平均線からの外形の平均平方偏差として定義される。 たくさんの表面にとってRaとRqの数値は表面高さのガウス分布Rq=1.25Raのために似ている。

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'渡辺(紘'訳

 単一の数によって断面図を描こうとする際に、表面形状についてのいくつかの必要な情報が失われるだろう事は避けられないことだ。たとえば、RaとSq.は、表面の凹凸の形状や間隔に関する情報を与えないし、ある限度の範囲では表面高さを知る確立を示さない。表面形状のより詳細な描写のためには、表面高さの確立分布、及び表面上の山と谷の空間分布についての情報が必要とされる。

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'渡邉(陽'訳

 面高さ配置の描写方法の必要性は振幅密度関数を明確にすることによって対処する。任意の高さYの振幅密度関数の値は平均線の上の高さyでの表面の点を発見する確率に比例する。  P(y)Δyの量は平均線の上にあるyとy+Δyの間にある断面形状の一部である。図2.6で示されている。 サインカーブのような対称断面は平均線の位置について対称である振幅密度を導く。  断面形状の非対称性は振幅密度関数の非対称性を導く。それゆえに振幅密度関数は表面凹凸同様にある垂直範囲についての情報を含んでいる。二乗平均平方根粗さは振幅密度関数の標準偏差であり、ここではしばしばσ記号として表される。

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'淺田'訳

振幅密度曲線の形状は,非対称性の尺度であるskewnessと分布曲線の頂点の鋭さの尺度であるkurtosis(ギリシャ語でコブを意味する)によって説明できる.Skewness(Sk)は次式により定義される. (2.3)式  また,kurtosis(K)は次式により定義される. (2.4)式  現代のコンピュータ化された触針式粗さ計により表面の分析から両方の量を容易に計算することができる.ガウス(正規)確率分布はskewness値が0でkurtosisが3.0である.3.0未満のkurtosis値は幅広く平坦な分布曲線を示し,一方で,より大きなkurtosisはより鋭いピークの分布に対応する.

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